MV70 : ± 0,3 mm
MV71 : ± 0,4 m
MV72 : ± 0,45 mm
MV73 : ± 0,45 mm。
最大放大系数＜4。
运行温度： - 70 °C 至 + 300 °C。
结构强度可承受最大荷载下连续 10g 的加速度。
内部缓冲器按照最大载荷且连续加速设计。
（1）最大/最小载荷下的固有频率：参见运行特征。
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